◎올 매출 92억원·경상이익 75% 늘어날듯아펙스(대표 김상호)는 반도체 제조에 필요한 공정 장비를 전문적으로 생산하고 있다.
반도체 웨이퍼는 여러종류의 박막 증착과 증착된 박막의 식각을 반복하므로써 생산된다. 아펙스가 생산하는 장비는 웨이퍼 생산의 핵심적인 공정인 증착과 식각에 필요한 장비로써 국내 반도체업계의 총 장비투자비중에서 약 30%의 비중을 차지하고 있다.
이회사의 지난해 매출액은 50억원, 경상이익은 8억원이었다. 장외등록 주간사인 선경증권은 올해 매출액을 전년보다 84% 증가한 92억원, 경상이익은 75% 늘어난 14억원으로 예상했다.
아펙스가 생산한 장비중 세계적으로 기술력을 인정받고 있는 제품은 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)장비다. MOCVD장비는 국내에서 유일하게 아펙스만이 양산체제를 갖췄으며 세계적으로도 2개사 정도만이 비슷한 장비 개발을 추진중이다. 이 장비는 국내 반도체 3사와 공동 개발한 것으로 현장 시험을 추진중이다. MOCVD장비는 현재 웨이퍼생산공정에 널리 사용되고 있는 실리콘 박막 증착용 CVD장비에 응용될 수 있다. CVD장비는 전량 수입에 의존하고 있기 때문에 빠른 시간내에 CVD장비를 대체할 것으로 전망된다.식각장비에서도 아펙스는 반도체 3사와 공동개발을 진행하고 있다. 기본적인 성능시험이 완료돼 현장 적응을 위한 공정개발이 진행되고 있다. 개발중인 식각장비는 고밀도 플라즈마 방식을 채택해 생산성과 미세패턴 정밀도를 획기적으로 향상시켰다.
반도체 장비는 수요 업체와의 긴밀한 협조관계 없이는 생산판매가 불가능하다. 아펙스는 지난해 현대전자에 12억원의 CVD장비를 판매했으며 LG반도체에 10억원, 삼성전자에 3억7천만원의 장비를 판매했다.<정명수>
