한국과학기술연구원(KIST 원장 박호군·朴虎君) 세라믹공정연구센터 송휴섭(宋休燮)박사팀은 산업자원부 산업기반기술사업의 일환으로 세라믹 부품제조공정에서 난제로 알려진 대형(10∼15㎝) 부품 제조에 성공했다. 세라믹은 분말 형태이기 때문에 대형화 하기가 어려웠으나 이번 기술 개발로 쉽게 만들 수 있게 됐다.KIST가 개발한 새로운 제조공정기술은 가공 등 여러 단계의 복잡한 과정을 거치지 않고 성형과 열처리만으로 원하는 모양대로 만들 수 있다. 특히 연속적으로 제조생산을 가능케 함으로써 기존 제조공정에 비해 생산원가를 5분의1 이하 수준으로 대폭 낮췄다.
KIST 연구팀은 독자적으로 개발한 플라스틱 조성기술과 분말조합기술, 플라스틱 탈지기술들을 적절히 조합해 최적화 함으로써 기존공정에서 형상이나 크기의 제한없이 얼마든지 대형 세라믹 부품제조를 가능케 했다.
宋박사는 『이번 개발로 관련 부품의 가격경쟁력이 크게 향상 됐다』며『전량 수입에 의존해 오던 반응·방열관의 수입대체는 물론 수출도 가능할 것』이라고 밝혔다.
이번 기술개발과 관련해 연구팀은 이미 국내외 특허를 획득했다. 내년 상반기에는 참여기업인 일본의 「이노세라」를 통해 발열체와 더미 웨이퍼(열분산을 위해 실제로 사용되지 않는 웨이퍼)를 우선 상용화 한다는 계획이다.
반도체 공정용 반응관 및 더미 웨이퍼의 국내 시장규모는 수백억원대에 이를 것으로 추정된다.
임동석기자FREUD@SED.CO.KR
