이에따라 서울일렉트론은 그간 일본 및 미국에서 전량 수입해온 대구경 웨이퍼 제조용 종형확산로를 직접 생산할 수 있게 됐다. 이번 협약으로 종형확산로 생산설비에 대한 20%정도의 원가절감이 가능해져 내수 및 해외시장에서 가격경쟁력을 확보할 수 있을 것이라고 서울일렉트론은 설명했다.DSI社의 종형확산로는 조작이 쉽고 고온용 카트리지 히터를 내장해 열응답성과 안정성이 우수하다고 회사측은 덧붙였다.
반도체사업부 김성복차장은 『종형확산로를 자체생산하기 위해 최근 천안에 건평 2,000평 규모의 공장을 매입했다』며 『4월부터 200·300㎜크기의 웨이퍼 처리용 종형확산로 생산에 본격 돌입, 대만 중국 등지로 수출을 추진할 것』이라고 말했다. (02)2190-2504
류해미기자HM21@SED.CO.KR
