세계최대의 박막트랜지스터액정표시장치(TFTLCD)제조장비업체인 어플라이드 코마츠 테크놀로지(AKT)는 5일 대형 TFTLCD제품의 보급 및 양산이 가능한 차세대 TFTLCD제조장비 「AKT4300」을 발표했다.이 장비는 TFTLCD의 원료인 유리기판의 크기를 기준으로 가로 5백50㎜·세로 6백50㎜를 처리할 수 있는 기존장비와는 달리 600㎜·7백20㎜의 기판까지 가공할 수 있는 것으로 3.5세대 제품으로 평가되고 있다.
600㎜·7백20㎜기판은 현재 세계반도체업체에서는 한국의 삼성전자만이 채택하고 있는 첨단기술을 요하는 제품으로, 삼성전자는 현재 경기도 기흥공장에 설비공사를 하고 있으며 이르면 내년부터 제품을 본격적으로 생산할 예정이다.
테쯔오 이와사끼 AKT사장은 『이 제품은 플라즈마화학적증착, 플라즈마에칭, 물리적증착시스템에 독특한 표준아키텍처를 채택함으로써 첨단 TFTLCD를 생산할 수 있는 최첨단 장비로 올 하반기부터 양산에 들어간다.』고 소개했다.<김희중>
