테스(095610)는 기판 처리 장치 관련 특허권을 취득했다고 20일 공시했다. 테스 측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림에 따라 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있다”고 덧붙였다. /송종호기자 joist1894@sedaily.com
