SK머티리얼즈와 쇼와덴코 합작법인인 ‘SK쇼와덴코’의 생산설비가 들어설 SK머티리얼즈 경북 영주 공장 전경./사진제공=SKSK㈜가 지난해 인수한 반도체 소재기업인 SK머티리얼즈가 일본 쇼와덴코사와의 합작법인(JV)을 통해 세계 최대 식각가스 생산설비를 건립해 사업확장에 나선다. SK머티리얼즈는 올 들어 산업가스와 프리커서(반도체 회로 위에 여러 화합물을 균일하게 증착하는 유기금속화합물)에 이어 식각가스 분야로까지 진출하면서 종합 반도체 소재 기업으로 발돋움했다.
양사는 1년여간 합작사업 검토를 거쳐 생산·판매를 위한 합작법인 설립 계약을 체결했다고 18일 밝혔다. 합작법인 사명은 SK쇼와덴코로 지분율은 SK머티리얼즈가 51%, 일본 쇼와덴코가 49%다. 초기 투자금액은 210억원 규모이며 양사는 식각가스 수요 증가에 맞춰 지속적인 증설 투자를 실행할 계획이다.
식각가스는 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수 가스다. 향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요가 급증할 것으로 전망된다. 특히 이 중에서도 SK쇼와덴코가 생산할 CF계 가스는 3D낸드 적층화에 따라 사용량이 빠르게 늘고 있다. 업계에 따르면 CF계 식각가스의 시장규모는 올해 2,500억원 수준으로 일부 제품의 경우 현재 공급 수준을 유지할 때 당장 내년 하반기부터 공급 부족을 겪을 것으로 예상되고 있다.
SK머티리얼즈 관계자는 “식각가스 분야 최고 수준의 기술을 가진 쇼와덴코와의 합작법인을 통해 식각가스 시장 조기 진입이 가능해졌다”고 밝혔다.
종합 소재기업인 쇼와덴코는 CF계 식각가스 글로벌 1위 기업으로 시총은 2조5,000억원에 달한다. 불소계 특수가스 전 제품 라인업과 원천기술을 보유하고 있으며 북미·유럽·중국 등에 판매망을 보유하고 있다.
합작법인은 경북 영주의 SK머티리얼즈 공장 내에 플루오르메탄(CH3F) 1차 생산설비 20톤을 내년 8월까지 건설 완료하고 육불화부타디엔(C4F6) 등 고부가 CF계 가스 사업도 순차적으로 추진한다. SK머티리얼즈와 쇼와덴코는 향후 3D낸드 확산에 발맞춰 생산 설비 증설에 나서며 중국 등 글로벌 설비 확장뿐 아니라 다양한 반도체·디스플레이 소재 사업을 추진하는 데도 적극 협력할 계획이다.
삼불화질소(NF3)와 육불화텅스텐(WF6) 세계 시장점유율 1위인 SK머티리얼즈는 지난 2월 출범 이후 발 빠른 사업확장에 나서고 있다. 4월 SK에어가스를 인수해 산업가스 사업에 진출했으며 5월에는 합작법인인 SK트리켐을 설립해 프리커서 분야로도 진출했다. /서일범기자 squiz@sedaily.com
