21일 엘오티베큠(083310)은 12억8,336만2,000원 규모의 반도체 공정용 플라즈마 전처리시스템 & 건식진공펌프 공급계약을 삼성전자와 체결했다고 공시했다. /김연하기자 yeona@sedaily.com