4일 특허청에 따르면 최근 10년(2007~2016년)간 반도체 제조기술 관련 특허출원동향을 분석한 결과 출원 건수는 2007년 7,583건에서 2016년 4,241건으로 꾸준히 줄어들었다.
외국인의 특허출원은 매년 2,000건 안팎을 유지했지만 내국인 특허출원은 2007년 4,928건에서 2016년 1,936건으로 눈에 띄게 감소했고, 특히 대기업은 같은 기간 2,518건에서 568건으로 4분의 1 수준까지 뚝 떨어졌다.
지난해 특허 출원 기술별로는 리소그래피기술이 전체의 31%로 가장 많았고, 증착기술(24%), 이송·지지기술(18%), 연마·절단기술(9%), 검사기술(5%), 식각기술(5%), 패키징기술(4%), 이온주입기술(3%), 세정기술(2%) 순이었다.
최근 5년간 가장 특허를 많이 출원한 곳은 동경일렉트론(일본)으로 1,164건이었고 한국의 세매스(883건)와 삼성전자(005930)(832건)가 뒤를 이었다.
제승호 특허청 반도체심사과장은 “4차 산업혁명을 통해 반도체 수요는 폭발적으로 증가할 것”이라며 “우리나라는 반도체 제조기술 핵심특허 확보활동을 강화해 반도체산업의 절대 우위를 다져야 한다”고 강조했다.