테스(095610)는 21일 디스플레이 장비에 적용되는 발광소자 보호막 증착 방법 관련 기술로 국내 특허를 취득했다고 공시했다. 해당 특허는 원자층 증착(ALD)과 플라즈마 화학기상 증착(PECVD)의 장점을 모두 포함한 하이브리드 형태의 보호막 증착에 대한 것으로 보호막 두께를 더 얇게 할 수 있어 공정시간을 줄이면서 플렉서블한 특성을 유지할 수 있다. /서지혜기자 wise@sedaily.com
