1,000㎡ 규모의 클린룸을 갖춘 UNIST 나노소자공정실에서 연구원들이 반도체 소자를 연구하고 있다./사진제공=UNIST울산과학기술원(UNIST)은 최근 세계적 학술지 ‘네이처’와 ‘사이언스’에 연달아 반도체 관련 연구 성과를 게재했다. 국내 반도체 산업의 초격차를 유지하기 위한 첨단 연구가 연이어 빛을 보게 된 것이다. 이러한 성과 뒤에는 UNIST의 우수한 연구지원 설비가 큰 역할을 했다.
29일 UNIST에 따르면 지난달 24일 ‘네이처’에 이 대학 자연과학부 신현석 교수팀의 연구 성과가 게재됐다. 반도체 집적회로의 전기적 간섭을 획기적으로 줄일 ‘초저유전율 절연체’를 개발한 성과였다. 지난 2일에는 ‘사이언스’에 이준희 에너지 및 화학공학부 교수의 연구 성과가 공개됐다. 이론 논문으로는 이례적으로 ‘사이언스’지에 게재된 이 교수팀의 연구는 원자 단위로 정보를 저장할 수 있는 획기적인 강유전체 메모리 반도체 개발 가능성을 열었다. 이 이론을 적용하면 기존 메모리 반도체 대비 1,000배 이상의 정보 저장 용량을 구현할 수 있을 것으로 보인다.
이러한 UNIST의 반도체 관련 연구 성과 뒤에는 반도체 공정과정 전체를 수행할 수 있는 연구지원본부(UCRF)의 역할이 컸다. 특히 나노소자공정실은 1,000㎡ 규모의 클린룸을 갖추고 있는데, 이곳에는 반도체 CMOS 전 공정을 진행해 30㎚급 반도체 소자를 만들 수 있는 연구라인이 운영되고 있다. 50여종의 첨단 연구 설비와 우수한 연구지원 인력이 확보돼 있는 나노소자공정실에서는 신기술 확보와 나노소자공정 발전을 위한 다양한 연구지원이 이뤄지고 있다.
UNIST는 지난해 일본의 반도체 수출규제 조치에 대응해 반도체 분야 ‘소재·부품·장비 기술자문단’을 운영했는데, 이때도 연구지원본부의 설비가 든든하게 뒤를 지켰다. 지난해 8월 개소한 미래 반도체 연구센터는 연구지원본부와 협업해 지역 내 다양한 기업들과 만나 의견을 청취하고 반도체 소재 부품 산업 지원을 위한 노력을 진행했다.
신태주 UNIST 연구지원본부장은 “UNIST 연구지원본부는우수한 연구 장비는 물론 숙련된 인력을 보유해 수준 높은 연구지원이 이뤄질 수 있는 환경을 구축하고 있다”며 “최근 반도체 연구역량 강화 프로그램을 진행하는 등 선도적인 연구 역량 확보에도 힘쓰고 있어 앞으로도 우수한 연구 성과가 배출될 수 있을 것으로 기대한다”고 밝혔다.
