[2020 우수 환경산업체] 플라즈마텍, 나노소재 설비 경쟁력 으뜸

플라즈마텍은 다양한 플라즈마 응용기술과 반도체 공정에서 축적된 기술을 바탕으로 시장을 선도하고 있다. 플라즈마텍은 반도체 산업용 미세먼지 처리, 유해가스 처리 등의 대기환경 분야와 나노소재 제조용 설비 분야에서 세계적 경쟁력을 확보하고 있다.

지난 2010년 습식전기 집진기용 중주파 전원공급장치를 세계 최초로 개발한 이후 10년 동안 삼성전자에 관련 제품을 단독 납품하고 있다. 또 대만과 중국 반도체 시장으로도 영역을 확대하며 독보적 기술력을 인정받고 있다.

플라즈마텍의 ‘반도체 산업용 정전유전체 미세먼지 제거설비’는 초미세먼지(PM2.5 이하)를 95% 이상 줄여주고, 내구성도 뛰어난 것으로 업계에 정평이 나 있다.



다양한 국내외 특허를 바탕으로 경쟁사들과 격차도 벌리고 있다. 국내에서는 습식 전기집진 장치 13건, 유해가스처리 9건, 기타 7건 등의 특허를 보유 중이다. 유해가스 분해용 반응기, 공기 청정 장치, 전기집진기의 전원공급장치 등이 대표적 국내 특허다.

해외에서는 습식전기집진장치, 전원공급장치, 고온반응장치 등의 특허를 보유 중이며 ISO 9001을 비롯해 우량 기술기업 인증도 받았다.