삼성전자 평택캠퍼스 전경반도체 생산 과정에서 반드시 필요한 원료인 초순수(超純水)에 대한 국산화 사업이 시작된다. 초순수는 반도체 생산 과정에서 나오는 오염물질을 씻어낼 때 쓰이는 필수 공업용수로 유기물 농도와 전기 전도도가 모두 극도로 낮은 물을 뜻한다. 현재 우리나라는 초순수 생산과 공급을 대부분 일본 등 해외업체에 의존하고 있어 수출 규제 등 돌반 변수에 취약한 상태다.
환경부와 한국수자원공사, 한국환경산업기술원은 14일 초순수 기술 국산화를 위한 공동 연구개발(R&D)에 착수한다고 14일 밝혔다.
환경부는 먼저 초순수 생산의 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 물에 녹아 있는 용존산소를 제거하는 탈기막 국산화에 나서기로 했다. 한국수자원공사 등 공공기관과 태영건설 등 10개 민간 기업이 손 잡고 오는 2025년까지 관련 기술을 개발하기로 했다. 환경부는 이를 위해 총 300억원의 연구비를 지원할 방침이다. 초순수 생산 설계는 100% 국산화하고 시공 기술은 60%까지 국산화율을 높이는 게 정부의 목표다. 한국수자원공사는 2025년까지 하루에 2,400톤의 초순수를 생산하는 실증 플랜트를 실제 반도체 공급업체에 설치한다는 목표를 세웠다.
김동진 환경부 수자원정책관은 “고순도 공업용수는 반도체 뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다”며 “이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것”이라고 설명했다.
