환경과학원, 반도체·디스플레이 온실가스 측정 방법론 개발

환경부 산하 국립환경과학원이 최근 개정한 반도체·디스플레이 온실가스공정시험기준을 12일 공개한다고 11일 밝혔다. 온실가스공정시험기준은 사업장에서 배출됐거나 대기 중에 존재하는 온실가스의 농도를 측정하는 데 필요한 시험 방법을 뜻한다.

이번 개정의 핵심은 반도체·디스플레이 업종의 온실가스 감축분을 정량 평가할 수 있도록 측정 방법을 마련한 데 있다. 두 업종의 배출가스에 포함된 아산화질소와 불소화합물의 농도를 적외선흡수분광법을 활용해 산정할 수 있도록 온실가스공정시험기준을 개발하면서다.



이 기준을 활용해 스크러버 등 온실가스 처리 시설이 얼마나 아산화질소나 불소화합물을 잘 저감하는지 측정할 수 있다는 설명이다. 또한 식각 및 증착 공정에서 육불화황 등 온실가스가 쓰이는 비율을 평가하고, 여기서 발생하는 부생가스까지 산정할 수 있다고 과학원은 덧붙였다.

이처럼 기준을 바꾼 것은 반도체·디스플레이 기업들이 배출권거래제 보고·인증에 대응할 수 있도록 돕기 위해서다. 반도체는 국내 주요 업종 중 다섯 번째로, 디스플레이는 여섯 번째로 온실가스를 가장 많이 배출하는 산업이다. 정부에서 두 업종의 온실가스 배출·감축량을 신뢰성 있게 측정할 방법론이 필요하다는 의견이 제기됐던 배경이다. 유명수 과학원 기후대기연구부장은 “이번 온실가스공정시험기준 개정은 반도체와 디스플레이 업종의 탄소중립 노력에 대한 정량 평가 기준 수립에 의의가 있다”고 말했다.

과학원은 지난해 11월 사전 행정예고를 통해 온실가스공정시험기준을 개선하겠다고 밝혔고 이후 전문가와 관계 기관 검토를 거쳐 개정안을 마련했다. 개정된 온실가스공정시험기준은 과학원 누리집이나 법제처 국가법령정보센터에서 확인할 수 있다.