SK하이닉스, 식각공정에 가우스랩스 'AI 가상계측 솔루션' 도입

SK하이닉스(000660)가 투자한 산업용 인공지능(AI) 기업 가우스랩스가 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘파놉테스 2.0’을 출시했다고 13일 밝혔다.

이 솔루션은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측한다. 이 솔루션을 적용하면 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다.



가우스랩스는 2022년 11월 파놉테스 첫 번째 버전을 출시했고 SK하이닉스는 이를 같은 해 12월부터 양산 팹의 박막 증착공정에 적용했다. 가상 계측한 결과값을 APC(제조 산업에서 제품의 생산을 위한 공정 진행 시 장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 솔루션)와 연동해 공정 산포를 29% 개선했고 수율 또한 향상시켰다.

SK하이닉스는 이번 신제품을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 식각 공정은 웨이퍼에 액체 또는 기체의 부식액을 이용해 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 과정이다. 이를 위해 가우스랩스는 '멀티 스텝 모델링' 기능을 이번 솔루션에 추가했다. 예측하고자 하는 공정과 앞서 진행된 공정의 데이터를 함께 활용해 모델링을 할 수 있는 기능으로 이전 공정의 영향을 많이 받는 식각 공정에 이 기능을 활용하면 가상 계측의 정확도를 높일 수 있다.

김영한 가우스랩스 대표는 “지난 4년간의 노력들이 가장 정밀한 제조 산업이라 불리는 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있다"며 "여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척해 나가겠다”고 말했다.