한국디엔에스, 30억원 수입대체 기대
반도체 전공정 장비생산업체인 한국디엔에스(대표 박창현?www.kdns.co.kr)는 그동안 전량 수입에 의존해 온 반도체 세정설비의 핵심장치인 일드업드라이어(YIELDUP DRYER) 제조 기술이전 계약을 미국 FSI사와 체결, 연간 30억원의 수입대체 효과를 거두게 됐다고 22일 밝혔다.
일드업드라이버는 세정공정 가운데 웨이퍼를 건조하는 웨트스테이션의 핵심설비.
특히 이것은 표면장력을 이용해 웨이퍼상의 수분및 오염입자를 제거하는 마란고니(MARANGONI)원리를 이용, 200㎜(8인치)와 300㎜(12인치) 웨이퍼를 건조하며 타장비에 비해 구조가 단순하면서도 입자제거 효율이 좋고 물반점이 생기지 않는 장점이 있다고 회사측은 설명했다.
박창현 사장은 "이번 계약으로 올 3월부터 연간 40∼60대를 생산하는 웨트스테이션 WS820L, K-WET300에 자체 생산한 일드업드라이어를 장착할 계획"이라고 밝히고 "대당 2∼6억원에 달하는 이 설비를 차세대 공정에도 적용, 연간 30억원 이상의 원가절감 효과를 보게 됐다"고 말했다.
한국디엔에스는 지난해 매출액 1,126억원, 경상이익 130억원을 달성한 회사로 올해 코스닥 등록을 추진하고 있다. (041)620-8100
