삼성전자가 반도체를 만드는데 쓰이는 소프트웨어를 미국에 수출한다.삼성전자는 지난 98년 자체 개발한 반도체 CMP공정 시뮬레이션 툴인 챔프스(Champs)를 미국 소프트웨어 전문업체인 유비텍(UbiTech)사에 공급하기로 기술 특허 라이센스 계약을 체결했다고 23일 밝혔다.
CMP 공정은 화학적 기계적 연마 공정을 의미하며, 식각(Etching)된 웨이퍼를 평탄화하는 제조 공정으로 챔프스는 수십억개에 달하는 반도체 칩의 회로 배선 평탄도를 측정하고 제조공정을 시뮬레이션 할 수 있는 소프트웨어다.
그동안 반도체 업체들은 CMP 제조공정을 자체 제작해 사용해 왔지만, 업체별 기술력에 따른 신뢰성과 기술적인 어려움으로 반도체 CMP공정을 시뮬레이션 할 수 있는 상용화된 소프트웨어가 없었다.
오수영 유비텍 부사장은 "지난 2001년 삼성전자의 '파스칼 프로그램'에 대한 특허계약으로 삼성전자의 기술력에 신뢰감을 가지고 있어챔프스 프로그램의 특허계약을 제의하게 됐다"고 말했다.
한편, 삼성전자는 반도체와 LCD(액정표시장치) 부문에서 1998년이후 40건의 기술 수출 계약을 체결, 앞으로 2~3년내 특허수입 금액이 1억달러를 돌파할 것으로 예상하고 있다.
김영기기자
