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이달의 KRISS인상에 김경중 박사 선정

입력2008.07.14 17:30:44 수정 2008.07.14 17:30:44
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산화막 두께 정밀측정기술 개발


한국표준과학연구원(KRISS)은 14일 전략기술연구본부 나노측정센터의 김경중(47ㆍ사진) 박사를 ‘이달의 KRISS인상’으로 선정했다. 김 박사는 반도체 소자 공정에 가장 중요한 분석 난제 중 하나인 산화막의 나노미터(10억분의1m) 두께를 정밀하게 측정하는 기술개발에 성공해 그 우수성을 인정받았다. 한편 KRISS는 매월 연구기관을 빛낸 연구원을 선정하고 있으며 연말에 올해의 KRISS인상을 시상하고 있다.

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