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'이달의 과학기술자상' 이종호 경북대교수 3차원구조 소자 연구 성과 이재철 기자 humming@sed.co.kr 관련기사 • '반도체 3차원 소자' 상용화 토대 마련 과학기술부와 한국과학재단ㆍ서울경제가 공동 주관하는 '이달의 과학기술자상' 10월 수상자로 이종호(사진) 경북대 교수가 11일 선정됐다. 이 교수는 벌크 FinFET을 포함한 다양한 3차원 구조의 소자에 대한 큰 연구 성과를 올려 수상의 영예를 안았다. 이 교수는 FinFET 구조의 우수성을 유지하면서 실용성과 용도를 확대하기 위해 비교적 저렴한 실리콘 웨이퍼에 3차원 CMOS 소자인 벌크 FinFET을 세계 최초로 개발했다. 또 이를 기반으로 삼성전자ㆍ하이닉스 등 국내 반도체 업체들과의 공동 연구에 착수, 연구 결과를 상용화하는 데 주목할 만한 성과를 거뒀다. 이와 함께 벌크 FinFET을 기준으로 40나노미터급 소자를 제작하는 한편 20나노미터 채널 길이까지 정확한 문턱전압 모델을 세계 최초로 제시했다. 입력시간 : 2006/10/11 17:30
