반도체ㆍLCD 장비업체들이 삼성전자ㆍ샤프 등의 300㎜ 반도체 라인, 7~8세대 LCD 라인 투자를 겨냥한 제품 개발ㆍ마케팅에 박차를 가하고 있다.
주성엔지니어링은 2일 개막된 ‘세미콘코리아 2005’에 일본 샤프사를 겨냥해 개발한 8세대 LCD용 플라즈마화학증착장치(PECVD)로 막을 입힌 유리기판(2,160ⅹ2,400㎜)을 세계 최초로 공개했다.
이는 8장의 42인치 와이드 LCD 패널을 만들 수 있는 크기다. 주성 관계자는 “지난해 2월 8세대 장치를 개발한 이후 추가 연구개발을 진행해 왔다”며 “아직 일본 업체들이 8세대 장비를 개발했다는 발표가 없어 샤프의 8세대 PECVD 발주 때 선전이 기대된다”고 말했다. 샤프는 한국 업체들에 선수를 빼앗긴 7세대를 건너 뛰고 8세대 LCD 패널 생산라인을 건립, 내년 하반기 가동에 들어갈 계획이다.
에스티아이는 최근 7세대 LCD 패널 제조용 현상장비(Developer)를 개발한데 이어 올 하반기중 전공정 핵심장비인 감광액 도포장비(Coater) 개발을 마칠 계획이다. 이석운 이사는 “우리가 개발중인 장비는 기존 코터와 달리 잉크젯 프린팅 방식이어서 감광액 사용액을 크게 줄이고 생산성을 높일 수 있다”고 말했다.
기존의 스핀(Spin)ㆍ슬릿(Slit) 방식은 유리기판 위에 빛에 반응하는 감광액을 떨어뜨린 뒤 기판을 돌리는 등의 방법으로 코팅하고 회로를 만들 부분에만 자외선을 쏘이고 나서 현상액에 반응시켜 나머지 부분을 제거하기 때문에 비효율적이다.
감광액을 구워주는 오븐장비 업체인 태화일렉트론도 현상ㆍ도포장비 등 관련 주변장비 개발을 서둘고 있는 것으로 알려졌다.
디엠에스는 최근 경기도 화성 제1공장 인근에 기존 사업장의 2.5배 규모로 제2공장을 완공, 대형 LCD 패널 생산라인에 들어가는 고집적 세정장비(HDC)ㆍ박리장비(HDS)와 현상장비 공급능력을 갖췄다. 이를 통해 LG필립스LCD 7세대 물량 및 대만ㆍ중국 패널업체에 대한 마케팅을 강화할 계획이다.
넥스트인스트루먼트는 삼성전자 천안ㆍ탕정사업장과 가까운 충남 아산지역에 3,000평 규모의 제2공장을 건설하고 있다. 기존 LCD 검사장비 외에 인쇄회로기판(PCB)용 패턴 검사장비, 웨이퍼 검사장비 등 반도체 부문으로 영역을 확대할 계획이다.
디이엔티도 코스닥 공모자금으로 탕정 주변에 LCD장비 공장을 신설할 계획이다. 디엠에스는 제2공장을 건설하고 있으며 오성엘에스티는 해외 수주에 대비해 증설을 서두르고 있다. 세메스도 LCD 7ㆍ8세대용 장비를 생산할 제3공장 신설을 검토하고 있다.
업계 관계자는 “올해 LCD 장비업체들의 해외판매는 상대적으로 축소되겠지만 내수판매 확대로 실적이 개선될 것”이라고 전망했다.
