반도체 장비 전문업체인 케이씨텍(대표 고석태)이 반도체제조 주변장비인 가스공급시스템에 들어가는 핵심부품 가스압력 조절기를 개발했다.7일 관련업계에 따르면 케이씨텍은 최근 반도체 주변장비인 가스공급시스템의 가스공급량을 적절하게 유지하고 압력을 조절할 수 있는 핵심부품인 가스압력 조절기를 국산화하는데 성공했다.
케이씨텍은 지난 93년부터 총 3억원을 투입해 개발에 성공한 이 장비의 생산라인을 갖춰 내년부터 본격 양산에 들어갈 계획이다.
이번에 개발된 제품은 다른 가스압력 조절기와 달리 유독, 유해 가스를 주로 사용하는 반도체 제조용으로 제작돼 외부누출과 고장이 없으며 먼지 발생 등 외부 불량요인에 강한 강점을 가지고 있다.
또 기존 가스압력조절기의 대표적인 불량요인이었던 먼지 등을 기존 장비(0.13∼0.38미크론)보다 대폭 향상된 0.01미크론까지 제거할 수 있다. 케이씨텍의 가스압력 조절기 국산화 성공으로 약 1천만달러정도의 수입대체효과가 기대된다고 관계자들은 추정하고 있다.
국내 관련업계는 그동안 이 장비를 전량 수입에 의존해 왔다.
케이씨텍의 한 관계자는 『이 장비가 스테인리스 강철의 전해연마 기술이나 먼지 등을 제거하는 클리닝 기술 및 스테인리스 정밀가공, 용접기술 향상에도 이바지할 것』이라고 설명했다.
