주성엔지니어링은 19일 반도체 제조 장치용 전극 특허를 취득했다고 공시했다. 주성엔지니어링 관계자는 '이번 특허는 반도체 제조 장비의 효율을 높이는 전극 장치에 관한 것'이라며 '반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력이 강화될 것으로 보인다'고 말했다.
