ECR 플라즈마를 활용한 스퍼터 기술은 고밀도의 플라즈마를 활용해 디스플레이에 박막을 증착하는 기술로, 기존 기술보다 대면적 패널에 고품질의 박막을 균일하게 형성할 수 있는 것이 특징이다.
기존 기술과 달리 플라즈마의 발생과 이온 가속을 독립적으로 제어할 수 있어 고에너지 입자에 의한 박막 손상을 최소화하고, 박막 표면 가열 효과를 줌으로써 상온에서 고품질 박막 형성이 가능하다.
이같은 점에서 저온에서 고품질 박막 제조가 가능, 기존 스퍼터 장비의 문제점을 해결할 수 있어 OLED, 플렉서블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 산업 발달에 혁신적인 역할을 할 것으로 기대되고 있다.
김기만 핵융합연 소장은 “국내 중소·중견 기업과의 지속적인 협력을 통해 연구소에서 보유하고 있는 우수한 플라즈마 기술이 차세대 반도체 및 디스플레이 산업분야에 사업화되는 모범 사례”라며 “앞으로도 플라즈마 기술이 다양한 산업에 적용될 수 있도록 노력하겠다”고 밝혔다.
대덕=구본혁기자 nbgkoo@sed.co.kr
