반도체 생산라인은 미세공정 등이 많아 지진에 취약한 편이다. 내진 설계가 되어 있지만 일정 수준의 진동이 느껴지면 미세 작업을 하는 노광 장비 등 일부 장비는 자동으로 가동이 중단된다.
삼성전자 화성 반도체 공장은 노광장비 일부가 가동 중단됐다. 삼성전자 관계자는 “기계 상황을 정확히 말하긴 힘들지만 전혀 피해가 없다고는 할수 없다”며 “다만 진도 6~7에도 견딜수 있도록 내진 설계가 돼 있어 잠시 일부 가동 중단에도 금방 복구돼 정상화 됐다”고 밝혔다.
SK하이닉스 역시 경기도 이천과 충북 청주 소재 반도체 공장 내 노광장비 중 극소수가 가동이 중단됐고, 현재 복구 된 것으로 전해졌다. SK하이닉스 측은 “노광장비는 미세한 작업 때문에 작은 진동에도 멈추도록 설계돼 있어 극소수 장비가 멈춘 것”이라며 “생산에는 지장이 전혀 없다”고 말했다.
앞서 지난 2월 대만에서 발생한 진도 6.4의 지진으로 TSMC 등 현지 반도체 회사가 생산라인을 멈춰 생산 중이던 웨이퍼를 폐기하는 등 피해를 본 바 있다.
한편 삼성전자와 삼성디스플레이, 삼성SDI, LG이노텍 등 대부분의 업체들도 지진에 따른 피해는 없다고 밝혔다.
