코스닥 상장사 인베니아(079950)는 4일 플라즈마 처리 장치에 관한 국내 특허를 취득했다고 공시했다.
회사는 액정표시장치(LCD)와 유기발광다이오드(OLED)의 식각공정에 사용하는 플라즈마 발생용 안테나 구성과 관련한 특허라고 설명했다. 플라즈마 발생용 안테나를 서로 다른 방향으로 2개 배치하고 길이와 가상 평면 사이의 거리를 다르게 형성하면 안테나부의 상부와 하부를 흐르는 전류 간 영향을 최소화해 공정의 균일성을 높일 수 있다고 덧붙였다.
