SK하이닉스(000660)가 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다.
희귀 가스 중 하나인 네온은 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이다. 한 번 사용한 네온은 불순물 제거 등 분리·정제 과정을 거치면 재활용이 가능하다. SK하이닉스는 최근 몇 년 간 국제 정세 불안정으로 인한 네온 수입 불확실성이 커짐에 따라 국내 협력사와 함께 재활용 기술 개발을 추진했고, 1년 만에 성과를 냈다.
양 사는 이러한 점을 활용해 노광공정 이후 스크러버를 통해 공기 중으로 배출되는 네온가스를 수집 탱크에 포집하고 TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 이렇게 정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급돼 반도체 제조 공정에 사용된다. 현재 네온 회수율은 72.7%에 이른다. SK하이닉스는 정제 수율을 개선해 회수율을 77%까지 높일 계획이다.
이번 기술 개발은 SK하이닉스와 소재·장비 협력사가 각 분야의 전문 지식을 바탕으로 긴밀하게 협력해 만들어진 성과다. 네온 재활용 기술이 반도체 팹에 적용될 경우 연간 400억 원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다.
앞서 SK하이닉스는 지난 2월 재활용 소재 사용 중장기 로드맵을 발표하고 2025년까지 재활용 소재 비율 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다. 네온 재활용 기술 개발을 주도한 SK하이닉스 탄소관리위원회의 소재 재활용 분과는 반도체 공정에서 화학적으로 분해 및 변형되지 않는 모든 소재의 재활용을 최종 목표로 삼고 있다. 분과는 2025년까지 네온, 중수소(D2), 수소(H2), 헬륨(He) 등 4개 가스 소재와 황산(H2SO4) 등 화학 소재를 비롯해 총 10개 원자재의 재활용 기술을 개발할 계획이다.
