산업 산업일반

에피밸리, 국산 MOCVD 장비 첫 도입

테스트 거쳐 양산체제 돌입

에피웨이퍼 및 칩 전문업체인 에피밸리가 국산 MOCVD(유기금속화학증착장비)를 도입하고 본격적인 양산체제를 서두르고 있다. 에피밸리는 최근 주성엔지니어링이 국내 최초로 개발한 핵심 LED장비인 MOCVD를 구매했으며 내부 테스트를 거쳐 경북 구미공장에서 생산에 들어갈 예정이라고 18일 밝혔다. 국산 MOCVD가 국내 LED칩 제조업체에 공급된 것은 이번이 처음이다. MOCVD는 지식경제부 신성장동력 스마트프로젝트의 일환으로 주성엔지니어링이 자체 개발한 LED 핵심 장비로 그동안 국산화 요구가 높았던 분야이다. 현재 MOCVD는 독일 액시트론과 미국 비코가 전세계 시장을 과점하고 있는 상황이며 최근 국내외 LED TV 시장의 급성장으로 인해 삼성LED, LG이노텍 등 국내 기업들이 MOCVD 장비대수 확대에 적극 나서고 있다. 에피밸리 관계자는 "구미에 위치한 본사 LED 양산라인에 바로 투입ㆍ가동해야 하기 때문에 빠른 시간내 테스트 과정을 마무리한 후 본격적인 상용화에 들어갈 예정"이라며 "이번에 도입된 MOCVD는 기존 장비에 비해 한대당 웨이퍼 처리능력이 3배 정도 높아 회사의 생산능력 확충에도 큰 도움이 될 것"이라고 전망했다.

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