산업 산업일반

"반도체 공정에 자기부상열차 기술 적용"

한국기계연구원 한형석 박사팀… 첨단 클린룸 물류 반송장치 개발

반도체, 디스플레이 산업 분야에서 활용될 수 있는 첨단 클린룸 물류 반송장치가 국내 연구진에 의해 개발됐다.


한국기계연구원 자기부상연구실 한형석 박사팀은 (주)에버테크노와 공동으로 자기부상열차의 부상 및 추진 기술을 활용해 자기부상 무분진 반송장치 개발에 성공했다고 16일 밝혔다.

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자기부상 무분진 반송장치는 기존 롤러를 이용한 접촉식 장치와 달리 비접촉식 반송방식을 적용해 분진과 진동이 발생하지 않는다는 것이 장점이다. 이 장치는 전자석의 용량 및 주변 전력장치를 경량화시킬 수 있어 기존보다 약 10배 이상 운송 속도가 빨라졌다. 적재함을 이용한 대량 운송도 가능하다.

한형석 박사는 "자기부상 무분진 반송장치는 무분진, 저진동의 장점으로 반도체, LCD, OLED 뿐만 아니라 의약품, 식품 생산라인에도 적용이 가능해 파급효과가 매우 클 것"이라고 말했다.

연구팀은 올해 말까지 신뢰성 검사를 마친 후 LCD, OLED, 반도체의 청정 생산공정에 바로 적용할 예정이다.

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