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테스, 반도체 웨이퍼 이송로봇용 블레이드 특허

입력2010.08.17 14:46:53 수정 2010.08.17 14:46:53

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테스는 반도체 웨이퍼 이송때 발생하는 손상을 최소화하고 흡착에도 도움이 되는 웨이퍼 이송로봇용 블레이드에 관한 특허를 취득했다고 17일 공시했다.

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이재유 기자

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