테스(095610)가 박막증착장치와 관련한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.이 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 것으로 기판에 박막을 형성하기 위한 각종 공정가스의 복잡한 제어 및 구성을 필요로 하지 않게 되어 기존에 비해 단순한 구성으로 박막을 증착할 수 있다. /박호현기자 greenlight@sedaily.com
