 | | 안진호 교수 |
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한양대 극자외선노광기술개발사업단은 국내 극자외선 노광기술 분야의 선두주자로 자리매김하고 있다. 극자외선이란 13nm(나노미터) 근방 파장의 빛을 일컫는 것으로 이같이 짧은 빛을 이용하면 22nm 이하의 나노반도체를 생산할 수 있다. 22nm는 머리카락 굵기의 6,000분의1에 해당하고 인공위성에서 지구표면의 골프공을 찾을 정도의 정교한 기술이 필요한 분야다.
극자외선노광기술개발사업단은 지난 1998년 국내에서 처음으로 관련연구를 시작해 이미 국내외 학계는 물론 산업계로부터 뛰어난 연구개발 능력과 성과를 인정받고 있다. 2002년부터 지식경제부 주관 차세대신기술개발사업으로 선정돼 산학연 협력사업단을 출범했으며 극자외선 빔라인과 현미경 등을 자체 개발해 기업 및 대학교에 연구기반을 제공하고 있다.
빔라인이란 입자가속기로부터 원하는 파장의 빛을 추출하기 위한 장치다. 현재 한양대뿐 아니라 포항가속기 연구소에 연구설비를 구축하고 있으며 글로벌 반도체장비업체인 ASML의 한국법인과 뉴파워플라즈마 등 반도체관련사로부터 매년 장학금을 받고 있다.
국내외 학계 및 산업계와의 협력도 활발하다. 국내의 경우 반도체연구조합과 나노융합사업연구조합, 디스플레이 연구조합의 회원사들과 협력관계를 맺고 있으며 미국 버클리국립연구소, 달라스주립대, 일본 효교대, 유럽의 IMEC 등과의 교류협력을 통해 학생들에게 글로벌 마인드와 폭넓은 네트워크를 제공하고 있다.
특히 연구실의 극자외선노광기술은 그동안의 성과를 바탕으로 실제 산업현장 도입을 앞두고 있다. 연구실의 한 관계자는 "현재 인텔이나 도시바 등 해외 반도체 회사를 제치고 국내 기업이 극자외선 노광기술 도입을 앞두고 있다"며 "22nm 이하 소자양산을 통해 한국 반도체 산업이 제2의 도약기를 선도할 수 있는 계기를 마련할 것"이라고 강조했다.
연구실은 앞으로 연구분야를 다각화해 유기반도체 기술이나 터치센서 기술을 활용한 휴먼인터페이스 소자도 개발할 계획이다. 이는 반도체 기술이 다양한 물질을 바탕으로 인간과 교감하는 입력 방법을 적용하는 등 진화할 것에 대비한 활동이다.
안진호 교수는 "반도체 기술에 기반해 새로운 기술을 접목하고자 하는 노력을 지속적으로 추진할 것"이라며 "상업화 가능한 기술을 중심으로 공학의 진정한 가치를 창출해나갈 것"이라고 말했다.
