이번 특허는 티타늄을 이용해 낮은 온도에서 넓은 면적의 그래핀을 고품질로 합성하는 기존 그래핀 제조방법의 단점을 보완한 새로운 무결점 개념의 대면적 그래핀을 직접적으로 성장시키는 제조기술이다. 특히 Roll to Roll 설비에서 그래핀 합성 시 사용되는 그래핀 박막의 증착원을 기존의 플라즈마(Plasma) 방식에 열분해 방법을 적용한 것이 특징이다. 이 방식은 기존 플라즈마 증착원에 추가 사용돼 그래핀 합성이 보다 용이 할 것으로 보고 있다.
회사 관계자는 “Roll to Roll에서 저온 무전사 박막그래핀 합성시 기존의 플라즈마 증착원에 Thermal CVD 증착원을 추가하는 방식”이라며 “그래핀 합성 시 발생될 수 있는 다양한 크기의 그래핀 입자·미반응 물질·파티클 등을 분극화 해 그래핀 입자를 선별함과 동시에 박막의 물성 향상 및 증착 속도를 제어할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다. /wown93@sedaily.com
