반도체 소자의 화학적 조성이나 결합상태, 전자구조 등을 분석할 수 있는 세계최고의 기술이 국내 연구팀에 의해 개발됐다.
테라급나노소자개발사업단(단장 이조원 박사)의 과제를 수행중인 연세대 초미세표면과학연구센터 염한웅 교수 연구팀은 실리콘 등 반도체 재료를 사용해 만들어지는 전자소자들의 복잡하고 다양한 박막구조를 분석해 내는 세계최고의 기술수준을 확보했다고 8일 밝혔다. 이 같은 연구결과는 이 분야 최고의 권위지인 피지컬 리뷰 2월호에 게재되어 확인됐다.
이 기술은 극초박막, 나노구조, 복합재료 기술 등이 필요한 차세대 반도체 개발에 반드시 필요한 분석기술이다.
현재까지 상용화된 분석기술은 0.3전자볼트(eV) 수준이며 연구단계에서 확인된 것 까지 포함하면 지금까지 최고의 분석수준은 0.06eV 까지 였다. 하지만 이번에 염 교수팀이 개발, 확보한 기술수준은 이 보다 최소 2배이상 높은 0.03eV까지 가능하다.
염 교수는 “반도체 공정기술에서 세계최고의 기술을 자랑하면서도 초정밀 분석기술과 분석장비를 전량 수입에 의존해 온 국내 현실을 개선하는 데 크게 기여할 것”이라고 말했다.
<조충제기자 cjcho@sed.co.kr>
